超高纯气体是指纯度达到极高水平的气体，通常可以达到99.999%以上的纯度。其主要特性包括以下几个方面：
1. 高纯度：超高纯气体通过精密的分离和净化工艺，除去了大多数杂质和其他气体成分，从而具有非常高的纯度。这种高纯度使得超高纯气体适用于许多高精度的应用，如半导体制造、光学薄膜沉积和实验室研究等。
2. 低杂质含量：超高纯气体的杂质含量非常低，一般在ppb（百亿分之一）或ppt（万亿分之一）级别。这种低杂质含量保证了超高纯气体的稳定性和可靠性，并且能够满足一些对杂质敏感的应用需求。
3. 低湿度：超高纯气体的湿度非常低，通常在ppm（百万分之一）级别以下。这种低湿度使得超高纯气体适用于需要防止水分对材料或设备产生损害的应用，如电子元件的封装和储存。
4. 低含氧量：超高纯气体中的氧气含量通常非常低，一般在ppm级别以下。这种低氧含量可以防止氧气对一些敏感材料的氧化反应，如光学玻璃和金属薄膜等。
总的来说，超高纯气体具有高纯度、低杂质含量、低湿度和低含氧量等特性。这些特性使得超高纯气体在许多高精度和敏感的领域发挥着重要作用，如电子工业、半导体制造、光学仪器和实验室研究等。
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